Roots skruevakuumpumpeenhet for halvlederproduksjon

Roots skruevakuumpumpeenheten kombinerer fordelene ved Roots-pumper og skruepumper, og tilbyr en ren, effektiv og oljefri vakuumløsning for krevende industrielle og laboratorieapplikasjoner. Med en gap-tetningsdesign og uten smøreolje opprettholder disse pumpene høy renhet og eksepsjonell ytelse gjennom hele driften.

Funksjonsprinsipp for Roots skruevakuumpumpeenhet

• Skruevakuumpumpe (forstadium):Fungerer som forstegspumpe, og gir høye pumpehastigheter og lavt eksosstrykk. Mekanisk kompresjon via presise skruespalter sikrer effektiv drift med lav støy og lav vibrasjon.
• Roots vakuumpumpe (hoved-/mellomtrinn):Synkront roterende doble rotorer overfører eksosgass fra sugekammeret til eksoskammeret. Gap-tetting forhindrer oljeforurensning og opprettholder et rent vakuummiljø.
• Serieoperasjon:Begge pumpene arbeider i serie, hvor skruepumpen forbedrer vakuumnivået og Roots-pumpen sikrer stabil, kontinuerlig pumpeeffektivitet.

Ytelsesfordeler

1. Energibesparende:Optimalisert forhold mellom pumpehastighet og vakuumgrad reduserer strømforbruket og overgår tradisjonelle vakuumsystemer i energieffektivitet.
2. Høy effektivitet:Oppnår over 90 % pumpeeffektivitet, og leverer høye vakuumnivåer med lavt energiforbruk for ulike prosesser.
3. Sikkerhetsbeskyttelse:Avansert kontrollsystem med automatisk start/stopp, overbelastnings-, overstrøms- og vannavstengningsbeskyttelse sikrer langvarig stabilitet.
4. Kompakt design:Vertikal stabling eller stige-struktur minimerer fotavtrykket, ideelt for fabrikker og laboratorier med begrenset plass.
5. Fleksibel konfigurasjon:Justerbar pumpehastighetsforhold mellom pumper (1:2 til 1:8) for å tilpasse seg ulike arbeidsbehov.
6. Korrosjonsbeskyttelse:Overløpsflater er behandlet eller laget av korrosjonsbestandige materialer, egnet for utvinning av korrosive gasser og drift i tøffe miljøer.

Anvendelsesområder

• Kjemisk industri:Uttak av flyktige organiske løsemidler, gasser og for bruk i vakuumreaktorer – mye brukt i kjemiske og farmasøytiske prosesser.
• Halvlederproduksjon:Støtter vakuumdeponering, rengjøring og etsingsprosesser.
• Næringsmiddelindustri:Uunnværlig for matemballasje, dehydrering og vakuumtørking.
• Metallurgisk industri:Ekstraherer gass i metallurgiske ovner og laboratorier for å stabilisere smelteprosesser.
• Laboratorium og vitenskapelig forskning:Ideell for vakuumeksperimenter og gassgjenvinning i vitenskapelige miljøer.
• Elektronikkindustri:Brukes i produksjon av integrerte kretser, vakuumbelegg av skjermer og andre elektroniske produksjonsprosesser.